Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Michael, Feras S. J."'
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2001, Issue 1, p202-213, 12p
Autor:
Kirk, Andrew G., Plant, David V., Szymanski, Ted H., Vranesic, Z. G., Trezza, John A., Tooley, Frank A. P., Rolston, D. R., Ayliffe, Michael H., Lacroix, Frederic K., Kabal, D., Robertson, Brian, Bernier, Eric, Filiatrault-Brosseau, D., Michael, Feras S. J., Chuah, E. L.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2000 Part 2, Issue 1, p449-459, 11p
Autor:
Ayliffe, Michael H., Rolston, D. R., Chuah, E. L., Bernier, Eric, Michael, Feras S. J., Kabal, D., Kirk, Andrew G., Plant, David V.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2000 Part 2, Issue 1, p508-519, 12p
Publikováno v:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS & MOEMS; Apr2002, Vol. 1 Issue 1, p70-78, 9p