Zobrazeno 1 - 10
of 40
pro vyhledávání: '"Metzler, Dominik"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Metzler, Dominik, Li, Chen, Engelmann, Sebastian, Bruce, Robert L., Joseph, Eric A., Oehrlein, Gottlieb S.
Publikováno v:
Journal of Chemical Physics; 2017, Vol. 146 Issue 5, p1-14, 14p, 2 Diagrams, 19 Graphs
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Kang-Yi Lin, Chen Li, Engelmann, Sebastian, Bruce, Robert L., Joseph, Eric A., Metzler, Dominik, Oehrlein, Gottlieb S.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; May2020, Vol. 38 Issue 3, p1-18, 18p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Metzler, Dominik
A basic requirement of a plasma etching process is fidelity of the patterned organic materials. In photolithography, a He plasma pretreatment (PPT) based on high ultraviolet and vacuum ultraviolet (UV/VUV) exposure was shown to be successful for roug
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4549634904eebc3bdf7760aa94706740
Autor:
Wise, Richard S., Labelle, Catherine B., Metzler, Dominik, Oulmane, Mohamed, Mukesh, Sagarika, Stopford, Phil, Yogendra, Karthik, Melvin, Lawrence
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2020, Vol. 11329 Issue: 1 p113290H-113290H-9, 1019620p
Autor:
Xun Xiang, Beique, Genevieve, Lei Sun, Labonte, Andre, Labelle, Catherine, Nagabhirava, Bhaskar, Friddle, Phil, Schmitz, Stefan, Goss, Michael, Metzler, Dominik, Arnold, John
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 1/17/2018, Vol. 10589, p105890K-1-105890K-12, 12p, 9 Black and White Photographs, 3 Diagrams, 3 Charts
Autor:
Jing Guo, De Silva, Anuja, Mignot, Yann, Yongan Xu, de la pena, Abraham Arceo, Meli, Luciana, Seshadri, Indira, Metzler, Dominik, Singh, Lovejeet, Tsuyoshi Furukawa, Ayothi, Ramakrishnan, Felix, Nelson M., Corliss, Daniel
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 1/14/2018, Vol. 10586, p1-12, 12p