Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"Menon, Vinayan"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Gabor, Allen, Brendler, Andrew, Liegl, Bernhard, Brodsky, Colin, Lembach, Gerhard, Mansfield, Scott, Mishra, Shailendra, Brunner, Timothy, Wiltshire, Timothy, Menon, Vinayan, Li, Wai-kin
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69241L-69241L-9, 9p
Autor:
Menon, Vinayan C., Isaacson, Robert L., Nicholls, Matthew C., Lickteig, Stephen J., Forstner, Thomas, Barnett, Anthony R., Mulhall, James
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p61521R-61521R-9, 9p
Autor:
Lickteig, Stephen J., Forstner, Thomas W., Barnett, Anthony R., Dixon, David S., Menon, Vinayan C., Isaacson, Robert L., Nicholls, Matthew C., Liu, Yonqiang, Kinikoglu, Pinar
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p61523B-61523B-9, 9p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p702-710, 9p
Overlay improvement roadmap: strategies for scanner control and product disposition for 5-nm overlay
Autor:
Felix, Nelson M., Gabor, Allen H., Menon, Vinayan C., Longo, Peter P., Halle, Scott D., Koay, Chiew-seng, Colburn, Matthew E.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2011, Vol. 7971 Issue: 1 p79711D-79711D-7, 717407p
Publikováno v:
Journal of Porous Materials; June 1996, Vol. 3 Issue: 2 p99-106, 8p
Autor:
Pike, Michael, Felix, Nelson, Menon, Vinayan, Ausschnitt, Christopher, Wiltshire, Timothy, Meyers, Sheldon, Kim, Won, Minghetti, Blandine
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2012, Vol. 8324 Issue: 1 p832408-832408-11