Výsledky vyhledávání - "Meli, B.E."

Akademický článek

Release of hydrogen gas from PECVD silicon nitride thin films in cavities of MEMS sensors

Autor: Dani, P., Tuchen, M., Meli, B.E., Franz, J., Knoch, J.

Publikováno v: In Micro and Nano Engineering December 2024 25

Zobrazit plný text záznamu