Výsledky vyhledávání - "McArthur, W. F."

Conference

Effect of Oxygen on the Degradation of Ti-Si-N Diffusion Barriers in Cu Metallization.

Autor: McArthur, W. F., Ring, K. M., Morgan, B., Hurst, Q., Serber, D., Clark, A., Kavanagh, K. L.

Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; Dec1998, Vol. 514 Issue 1, p321-327, 7p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Compositional Effects on the Degradation of PVD-TiSiN.

Autor: McArthur, W. F., Deng, F., Ring, K., Pattison, P. M., Kavanagh, K. L.

Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; Dec1997, Vol. 472 Issue 1, p325-330, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Preliminary investigation of the kinetics of postoxidation rapid thermal anneal induced hole-trap-precursor formation in microelectronic SiO[sub 2] films.

Autor: Conley, J. F., Lenahan, P. M., McArthur, W. F.

Publikováno v: Applied Physics Letters; 10/12/1998, Vol. 73 Issue 15, 1 Diagram, 2 Graphs

Zobrazit plný text záznamu