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Dissertation/ Thesis
Développement de la technique dépôt par couche atomique spatiale (SALD) pour la fabrication de couches minces type P d'oxyde de cuivre (I) conductrices
Autor: Masse de la Huerta, César, Arturo
Pour concevoir avec succès l'instrumentation nécessaire aux nouvelles technologies de fabrication avec une précision nanométrique, la méthodologie de conception doit prendre en compte de nombreux sujets différents liés à la chimie, à la phys
Externí odkaz: http://www.theses.fr/2019GREAI067
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Elektronická kniha
Chapter Spatial Atomic Layer Deposition
Autor: Jiménez, Carmen, Bellet, Daniel, Masse de la Huerta, César, Muñoz-Rojas, David, Huong Nguyen, Viet
In conventional atomic layer deposition (ALD), precursors are exposed sequentially to a substrate through short pulses while kept physically separated by intermediate purge steps. Spatial ALD (SALD) is a variation of ALD in which precursors are conti
Externí odkaz: https://library.oapen.org/handle/20.500.12657/49301
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Development of the Spatial Atomic Layer Deposition (SALD) technique for the fabrication of p-type thin films of highly conductive copper (I) oxide
Autor: Masse de la Huerta, César, Arturo
Publikováno v: Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]. Université Grenoble Alpes, 2019. English. ⟨NNT : 2019GREAI067⟩
To successfully design the instrumentation needed for new manufacturing technologies with nanoscale precision, the design methodology must take into account many different topics related to chemistry, physics, mechanics, electronics and automation, w
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::f6bd8f08f3260f6a95eb77d4b20fcca2
https://theses.hal.science/tel-03362690
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Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
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