Preferential orientation in metal nitride deposited by the UBM system

Autor: Olaya, Jhon Jairo, Marulanda, Diana Maritza, Rodil, Sandra

Publikováno v: Ingeniería e Investigación, Volume: 30, Issue: 1, Pages: 125-129, Published: 01 APR 2010
Repositorio UN
Universidad Nacional de Colombia
instacron:Universidad Nacional de Colombia

El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en ni- truros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbala

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https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/29218