Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Marnani, S"'
Autor:
Reijzen, M.E. van, Tamer, M.S., Es, M.H. van, Riel, M.C.J.M. van, Keyvani Janbahan, A., Sadeghian Marnani, S., Lans, M.J. van der
Publikováno v:
Proceedings Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII, 2018, San Jose, CA, USA
In this paper, we present an AFM based subsurface measurement technique that can be used for overlay and critical dimensions (CD) measurements through optically opaque layers. The proposed method uses the surface elasticity map to resolve the presenc
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::9f53c01622db2cd3e108126678f58a63
http://resolver.tudelft.nl/uuid:b3312949-6ae3-467a-952e-b209dce3360f
http://resolver.tudelft.nl/uuid:b3312949-6ae3-467a-952e-b209dce3360f
Autor:
Reijzen, M.E. van, Tamer, M.S., Es, M.H. van, Riel, M.C.J.M. van, Duivenvoorde, T., Keyvani Janbahan, A., Sadeghian Marnani, S., Lans, M.J van der
In the semiconductor industry, the need for characterization of subsurface features of wafers on a sub-nanometer level becomes ever more important. With Scanning Subsurface Probe Microscopy (SSPM), the smallest features can be measured with high reso
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::815f9f6803908e5dc1c29756de7eed22
http://resolver.tudelft.nl/uuid:fdb3a562-9074-4855-9542-e96198dd808e
http://resolver.tudelft.nl/uuid:fdb3a562-9074-4855-9542-e96198dd808e
Publikováno v:
IOP Conference Series: Earth & Environmental Science; 5/14/2021, Vol. 746, p1-7, 7p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
This thesis is essentially a study of how intellectual property, transfer of technology and competition rules can be interfaced properly in Iran to facilitate the flow of technology into the country. The law governing the transfer and development of
Externí odkaz:
https://ethos.bl.uk/OrderDetails.do?uin=uk.bl.ethos.267038