Zobrazeno 1 - 10 of 10 pro vyhledávání: '"Marchman, H. M."'
1
Conference
Fabrication and Characterization Using Scanned Nanoprobes.
Autor: Wetsel Jr., G. C., McBride, S. E., Marchman, H. M.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; 3/27/2017, Vol. 10308, p268-288, 21p
Zobrazit plný text záznamu
2
Conference
Impact of line width roughness on device performance.
Autor: Lorusso, G. F., Leunissen, L. H. A., Gustin, C., Mercha, A., Jurczak, M., Marchman, H. M., Azordegan, A.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2006 Part 2, Issue 1, p61520W-61520W-7, 7p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Dimensional metrology with scanning probe microscopes.
Autor: Griffith, J. E., Marchman, H. M., Miller, G. L., Hopkins, L. C.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 3, p1100-1105, 6p
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Optical probe microscope for nondestructive metrology of large sample surfaces.
Autor: Marchman, H. M., Griffith, J. E., Trautman, J. K.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 3, p1106-1111, 6p
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
Nanometer-scale dimensional metrology for advanced lithography.
Autor: Marchman, H. M., Griffith, J. E., Guo, J. Z. Y., Frackoviak, J., Celler, G. K.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3585-3590, 6p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Edge position measurement with a scanning probe microscope.
Autor: Griffith, J. E., Marchman, H. M., Hopkins, L. C.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3567-3570, 4p
Zobrazit plný text záznamu
7
Akademický článek
Line profile measurement with a scanning probe microscope.
Autor: Griffith, J. E., Marchman, H. M., Miller, G. L., Hopkins, L. C., Vasile, M. J., Schwalm, S. A.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1993, Vol. 11 Issue 6, p2473-2476, 4p
Zobrazit plný text záznamu
8
Akademický článek
Metrology for phase-shifting masks.
Autor: Marchman, H. M., Vaidya, S., Pierrat, C., Griffith, J.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1993, Vol. 11 Issue 6, p2482-2486, 5p
Zobrazit plný text záznamu
9
Akademický článek
Fabrication of optical fiber probes for nanometer-scale dimensional metrology.
Autor: Marchman, H. M., Griffith, J. E., Filas, R. W.
Publikováno v: Review of Scientific Instruments; Aug1994, Vol. 65 Issue 8, p2538, 4p
Zobrazit plný text záznamu
10
Akademický článek
Controlled electrical contact of a scanned probe to nanostructures.
Autor: Marchman, H. M., Jr, G. C. Wetsel
Publikováno v: Nanotechnology; Jul1995, Vol. 6 Issue 3, p1-1, 1p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje