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Análise comparativa das propriedades elétricas de camadas e multicamadas de VOx depositadas por pulverização catódica para aplicação em bolômetros

Autor: R. A. Medeiro, Carlos Luiz Ferreira, Leila Rosa de Oliveira Cruz, Marcelo S. B. de Castro

Publikováno v: Matéria (Rio de Janeiro). 24

Filmes finos de VOX (camada e multicamadas) foram fabricados por pulverizacao catodica com radiofrequencia assistida por campo magnetico constante para aplicacao em detectores de radiacao infravermelha do tipo bolometro. As amostras foram fabricadas

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d007effaeb4908a136e27163d67e9e08
https://doi.org/10.1590/s1517-707620190001.0648

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Vanadium oxide thin films produced by magnetron sputtering from a V2O5 target at room temperature

Autor: Carlos Luiz Ferreira, Roberto R. de Avillez, Marcelo S. B. de Castro

Publikováno v: Infrared Physics & Technology. 60:103-107

Vanadium oxide thin films were grown by RF magnetron sputtering from a V2O5 target at room temperature, an alternative route of production of vanadium oxide thin films for infrared detector applications. The films were deposited on glass substrates,

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2270a9c2b667149219fde71f6fb00a28
https://doi.org/10.1016/j.infrared.2013.03.001

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