Automatic grid refinement for thin material layer etching in process TCAD simulations

Autor: Lenz, Christoph, Manstetten, Paul, Aguinsky, Luiz Felipe, Rodrigues, Francio, Hössinger, Andreas, Weinbub, Josef

Publikováno v: In Solid State Electronics February 2023 200

Using Temporary Explicit Meshes for Direct Flux Calculation on Implicit Surfaces

Autor: Manstetten, Paul, Weinbub, Josef, Hössinger, Andreas, Selberherr, Siegfried

Publikováno v: In Procedia Computer Science 2017 108:245-254

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Efficient flux calculations for topography simulation

Autor: Manstetten, Paul Ludwig

In der Halbleiterfertigung wird mithilfe von Topographiesimulationen die Veränderung der sich auf dem Wafer befindlichen Materialstrukturen berechnet. Die simulierten Prozessschritte können sehr unterschiedlich sein. Zwei Beispiele sind das Abschei

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::04718e70c15ec965475ef6369e7b7edf

Using one-dimensional radiosity to model neutral particle flux in high aspect ratio holes.

Autor: Manstetten, Paul, Filipovic, Lado, Hossinger, Andreas, Weinbub, Josef, Selberherr, Siegfried

Publikováno v: 2016 Joint International EUROSOI Workshop & International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS); 2016, p120-123, 4p