Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Manion, S. J."'
Autor:
Brennen, R. A., Hecht, M. H., Wiberg, D. V., Manion, S. J., Bonivert, W. D., Hruby, J. M., Scholz, M. L., Stowe, T. D., Kenny, T. W., Jackson, K. H., Malek, C. K.
Publikováno v:
Microsystem Technologies; May1997, Vol. 3 Issue 3, p91-96, 6p
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 4, p1602-1607, 6p