Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Makoto Nawata"'
Autor:
Kazuyuki Ikenaga, Makoto Nawata, Shigeru Shirayone, Masaki Ishiguro, Tomoyuki Tamura, Masahiro Sumiya
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 28:247-252
Particle transport under Coulomb force during plasma on and off periods was studied in a plasma of mixed gases of Ar, O 2 , and N 2 generated by a microwave electron cyclotron resonance plasma etching system. The relationship between the number of pa
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::eb64b18f7ad639b995953f0cae27a2b6
https://doi.org/10.1109/tsm.2015.2429585
https://doi.org/10.1109/tsm.2015.2429585
Periodical
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Ishiguro, Masaki, Ikenaga, Kazuyuki, Tamura, Tomoyuki, Shirayone, Shigeru, Nawata, Makoto, Sumiya, Masahiro
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing; Aug2015, Vol. 28 Issue 3, p247-252, 6p
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1994, Vol. 12 Issue 4, p1209-1215, 7p