Výsledky vyhledávání - "Maguire, W. Ethan"

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Periodical

Genetic optimization of aperiodic multilayer masks for high and hyper-NA EUV lithography

Autor: Burkhardt, Martin, van Lare, Claire, Maguire, W. Ethan, Smith, Bruce W.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; April 2024, Vol. 12953 Issue: 1 p129531A-129531A-13, 12823583p

Zobrazit plný text záznamu

Periodical

Defining Tatian-Zernike polynomials for use in a lithography simulator

Autor: Lio, Anna, Burkhardt, Martin, Maguire, W. Ethan, Sejpal, Rajiv, Smith, Bruce W.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; April 2023, Vol. 12494 Issue: 1 p124940P-124940P-11, 12369072p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Defining Tatian-Zernike polynomials for use in a lithography simulator.

Autor: Maguire, W. Ethan, Sejpal, Rajiv, Smith, Bruce W.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; 4/7/2023, Vol. 12494, p124940P-124940P-11, 1p

Zobrazit plný text záznamu