Výsledky vyhledávání - "Machala, C. F."

Conference

Investigation and Modeling of Fluorine Co-Implantation Effects on Dopant Redistribution.

Autor: Diebel, M., Chakravarthi, S., Dunham, S. T., Machala, C. F., Ekbote, S., Jain, A.

Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 2003, Vol. 765 Issue 1, p1-6, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Dopant diffusion modeling for heteroepitaxial SiGe/Si devices.

Autor: Chakravarthi, S., Chidambaram, P. R., Machala, C. F., Mansoori, M.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; Mar/Apr2006, Vol. 24 Issue 2, p608-612, 5p, 1 Diagram, 2 Charts, 8 Graphs

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

High-resolution two-dimensional dopant characterization using secondary ion mass spectrometry.

Autor: Ukraintsev, V. A., Chen, P. J., Gray, J. T., Machala, C. F., Magel, L. K., Chang, M.-C.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2000, Vol. 18 Issue 1, p580-585, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání