Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"MEMS thermal transducer"'
Autor:
Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Електроніки, Мікроелектроніки
Дисертаційна робота присвячена розробці терморезисторних первинних перетворювачів (ТРПП) за технологією мікроелектромеханічних сист
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2635::1faf7fcb3d3bfba8dd41fceacfa025b6
https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19109
https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19109
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Micro-electro-mechanical system (MEMS) thermal transducer is a promising technological platform for uncooled IR imaging. We fabricated MEMS infrared focal plane arrays (FPA) based on bi-material micro-cantilever and built an optical-readout infrared
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5acea8799a0c0106002bc005954fc718
https://doi.org/10.1117/12.837646
https://doi.org/10.1117/12.837646
Publikováno v:
2008 International Conference on Optical Instruments and Technology: MEMS/NEMS Technology and Applications.
MEMS thermal transducer is a promising technological platform for uncooled IR imaging. We fabricated MEMS IR FPA based on bi-material micro-cantilever and structured an uncooled MEMS IR System. In addition we obtained IR images of room temperature ob
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::76416db2054b961e715b33d2916ae0f2
https://doi.org/10.1117/12.806761
https://doi.org/10.1117/12.806761