Zobrazeno 1 - 10
of 137
pro vyhledávání: '"MEMS process"'
Publikováno v:
Sensors, Vol 23, Iss 24, p 9895 (2023)
Surface acoustic wave resonators are widely applied in electronics, communication, and other engineering fields. However, the spurious modes generally present in resonators can cause deterioration in device performance. Therefore, this paper proposes
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/fb5ee90c6f03447fb9b5fd6ef7ebe786
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Gabriel Barrientos, Giacomo Clementi, Carlo Trigona, Merieme Ouhabaz, Ludovic Gauthier-Manuel, Djaffar Belharet, Samuel Margueron, Ausrine Bartasyte, Graziella Malandrino, Salvatore Baglio
Publikováno v:
Sensors, Vol 22, Iss 2, p 559 (2022)
In this paper, we present integrated lead-free energy converters based on a suitable MEMS fabrication process with an embedded layer of LiNbO3. The fabrication technology has been developed to realize micromachined self-generating transducers to conv
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/0bb2f01f3e0a4ffa8abacd696ffa99c1
Publikováno v:
Dianzi Jishu Yingyong, Vol 44, Iss 10, Pp 32-36 (2018)
Etching technique of deep silicon trenches with high aspect ratio is critical in improving integration and accuracy of Micro-Electro-Mechanical Systems(MEMS)sensor array and reducing the cost of it. To fabricate silicon isolation trenches with aspect
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/337ada1b2cf94a588f88159a522cad19
Publikováno v:
IEEE Journal of the Electron Devices Society, Vol 6, Pp 135-138 (2018)
In this paper, we employed a one-step localized substrate removal (LSR) process to fabricate a backside-illuminated CMOS photovoltaic (PV) mini-module suitable for high-voltage and low-power applications. LSR can be considered an upgrade of multichip
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/59dd72c1e7644fa890e1da1d1ea5d8cf
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.