Zobrazeno 1 - 10
of 148
pro vyhledávání: '"MEMS actuator"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Sensors, Vol 22, Iss 23, p 9490 (2022)
In this study, an electrostatically driven vertical MEMS actuator was designed using a hollow square electrode. To attain vertical actuation, a hollow square-shaped electrode was designed on the glass substrate. The silicon proof mass, containing a s
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/8fec162996cb4620b9d38d79eea4551e
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Micromachines, Vol 12, Iss 8, p 998 (2021)
In this study, a micromachined chip in Otto configuration with multiple air-gaps (1.86 μm, 2.42 μm, 3.01 μm, 3.43 μm) was fabricated, and the resonance characteristics for each air-gap was measured with a 980 nm laser source. To verify the variab
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/ec4550a8926244d5a146da896597c20f
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Sensors, Vol 15, Iss 2, Pp 3107-3115 (2015)
Localization of a needle tip is important for biopsy examinations in clinics. However, the needle tip is sometimes difficult to discern under the guidance of sonography due to its poor visibility. A mini actuator that radiates a low-intensity ultraso
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/71df74c45cfd497abe1d0c1902093b85
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.