Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"M.L. Ker"'
Publikováno v:
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 69:430-434
TaxNi1−x (x=0.65 and 0.50) thin films were prepared on p-type (1 0 0) Si substrate by magnetron dc sputtering as a barrier film with a high crystallization temperature and a low resistivity for Cu metallization. The failure properties of the studie
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e1233dae3410a30824a8e98034b4f7e8
https://doi.org/10.1016/j.jpcs.2007.07.046
https://doi.org/10.1016/j.jpcs.2007.07.046
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.