Zobrazeno 1 - 10
of 23
pro vyhledávání: '"M.C. Benjamin"'
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 237:351-355
An accurate method to measure the four point probe (4PP) sheet resistance ( R S ) of ultra shallow junction (USJ) Source–Drain Extension structures is described. The method utilizes Elastic Material probes (EM-probes) to form non-penetrating contac
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::db83b42c70b47460fb8aec41295f5bad
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2005.05.040
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2005.05.040
Publikováno v:
2007 International Workshop on Junction Technology.
A novel technique has been developed that can provide activated dopant profiling of USJ structures without complicated Poisson based corrections. The technique has been demonstrated on USJ layers as thin as 25 nm. The value of this measurement techni
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e8e58a4c48b626586f97c5faa42ca1fb
https://doi.org/10.1109/iwjt.2007.4279943
https://doi.org/10.1109/iwjt.2007.4279943
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.