Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"M.B. Fuselier"'
Publikováno v:
Proceedings of the IEEE 1998 International Interconnect Technology Conference (Cat. No.98EX102).
Measured and modeled back-end-of-the-line (BEOL) RC delay data are presented for multilevel sub-0.25 /spl mu/m generation CMOS ICs. The aluminum and copper BEOL levels were fabricated using metal RIE and damascene processing, respectively. Aluminum B
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9171f2274b03988ed40698bd6fc27e35
https://doi.org/10.1109/iitc.1998.704752
https://doi.org/10.1109/iitc.1998.704752
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.