Výsledky vyhledávání - "M.A.J. Bouwens"

Enhancing re-detection efficacy of defects on blank wafers using stealth fiducial markers

Autor: Diederik Maas, P. van der Walle, M.A.J. Bouwens, J.C.J. van der Donck, Paul F. A. Alkemade

Publikováno v: Microelectronic Engineering, 153
Microelectronic Engineering

To qualify tools of semiconductor manufacturing, particles unintentionally deposited in these tools are characterized using blank wafers. With fast optical inspection tools one can quickly localize these particle defects. An example is TNO's Rapid Na

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::7655c390085b8a0fdbce6515fb0216a6
http://resolver.tudelft.nl/uuid:2da20d68-0f58-4443-a0f7-9dfbb3941785

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání