Zobrazeno 1 - 10
of 20
pro vyhledávání: '"M. Scarlete"'
Autor:
M. Scarlete, Y. Awad, M. A. El Khakani, N. Camiré, Jaouhar Mouine, D. Brassard, C. Aktik, R. Smirani, M. Lessard
Publikováno v:
Thin Solid Films. 518:2738-2744
We report on the effect of thermal annealing on the structural and mechanical properties of amorphous SiC thin films prepared by means of a polymer-source chemical vapor deposition process. The chemical bondings of the a-SiC:H films were systematical
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3841cf913aeab78847d133c2d256f3d3
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.10.154
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.10.154
Autor:
M. Lessard, R. Smirani, Y. Awad, N. Camiré, Hind A. Al-Abadleh, Jaouhar Mouine, M. A. El Khakani, M. Scarlete, C. Aktik
Publikováno v:
Surface and Coatings Technology. 204:539-545
The deposition of amorphous silicon carbonitride (a-SiCN:H) films has been successfully achieved through an in-house developed vapor-transport chemical vapor deposition (VT-CVD) technique in a nitrogenated atmosphere. Polydimethylsilane (PDMS) was us
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b03e45caf6a29b4461795277fd4fe19a
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.08.032
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.08.032
Publikováno v:
Materials Chemistry and Physics. 104:350-355
Amorphous silicon carbide (a-SiC) thin films have been deposited onto a variety of substrates, including silicon, SiO2, Si3N4, Cr, Ti and refractory metal-coated silicon, by means of a polymer-source chemical vapor deposition (PS-CVD), at a substrate
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3475848c254d5db9231b847b4b8d17cf
https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2007.03.030
https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2007.03.030
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.