Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"M. Nantel-Valiquette"'
Autor:
Kremena Makasheva, E. Castaños-Martinez, Michel Moisan, M. Nantel-Valiquette, J. C. Rostaing, Y. Kabouzi
Publikováno v:
Pure and Applied Chemistry. 78:1173-1185
The abatement of perfluorinated compound (PFC) gases is investigated using atmospheric pressure microwave-surface-wave plasmas. These PFCs are diluted in nitrogen gas with concentration ranging from 5000 to 10 000 ppmv. The abatement mechanisms of SF
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.