Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"M. Nantel-Valiquette"'
Autor:
Kremena Makasheva, E. Castaños-Martinez, Michel Moisan, M. Nantel-Valiquette, J. C. Rostaing, Y. Kabouzi
Publikováno v:
Pure and Applied Chemistry. 78:1173-1185
The abatement of perfluorinated compound (PFC) gases is investigated using atmospheric pressure microwave-surface-wave plasmas. These PFCs are diluted in nitrogen gas with concentration ranging from 5000 to 10 000 ppmv. The abatement mechanisms of SF
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2f1d344561c9ad3afbf7d9ac42a7c3d5
https://doi.org/10.1351/pac200678061173
https://doi.org/10.1351/pac200678061173
Publikováno v:
Journal of Applied Physics; 6/14/2020, Vol. 127 Issue 22, p1-10, 10p, 1 Diagram, 1 Chart, 11 Graphs
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Leins, Martina, Alberts, Lukas, Kaiser, Mathias, Walker, Matthias, Schulz, Andreas, Schumacher, Uwe, Stroth, Ulrich
Publikováno v:
Plasma Processes & Polymers; Jun2009 Supplement, Vol. 6, pS227-S232, 6p