Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"M. Kogano"'
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 17:493-499
Langmuir probes and Thomson scattering are two independent methods of measuring electron properties in glow discharges. In this article, measurements of electron properties of an inductively coupled plasma were made using both methods, and the result
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::87e397149f385d073305ec1bb1722b76
https://doi.org/10.1116/1.581610
https://doi.org/10.1116/1.581610
Publikováno v:
Journal of Applied Physics. 83:1909-1916
The electron energy distribution function (eedf) in an inductively coupled plasma was studied using the method of laser Thomson scattering. eedfs were measured for various plasma conditions, at different gas pressures, and at different input rf power
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b3df9e96843e82d58cf4f43a758ce5e8
https://doi.org/10.1063/1.366915
https://doi.org/10.1063/1.366915
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.