Výsledky vyhledávání - "M. González Sirgo"

Investigation of the effects of high temperature implantation and post implantation annealing on the electrical behavior of nitrogen implanted β-SiC films

Autor: R. Lossy, W. Reichert, Ernst Obermeier, M. González Sirgo, W. Skorupa

Publikováno v: Scopus-Elsevier

Nitrogen was implanted into p-type β-SiC at implantation temperatures between 300 K and 1473 K. The implanted samples were characterized by Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS) and electrically by resistivity and Hall measurements. The analysis wa

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::c298772a73f2b78248e627eb5e7cd558
https://doi.org/10.1016/s0925-9635(97)00073-3

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání