Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"M. Abdel sater"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2019 30th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC).
Surface nanotopography is important for different key advanced process steps (CMP, Bonding, Epitaxy…). However, its characterization needs data at all scales from wafer to devices. In addition in today advanced processes, roughness and deterministi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4e1c41492e80ea55be41ffc2b3052d42
https://doi.org/10.1109/asmc.2019.8791802
https://doi.org/10.1109/asmc.2019.8791802
Autor:
N. Bresson, Severine Cheramy, A. Jouve, V. Balan, Lucile Arnaud, S. Guillaumet, Sandrine Lhostis, C. Euvrard-Colnat, C. Beitia, S. Mermoz, Y. Exbrayat, Frank Fournel, G. Mauguen, Alexis Farcy, M. Abdel Sater
Publikováno v:
2017 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S)
2017 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S), Oct 2017, Burlingame, Canada. pp.1-2, ⟨10.1109/S3S.2017.8309213⟩
2017 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S), Oct 2017, Burlingame, Canada. pp.1-2, ⟨10.1109/S3S.2017.8309213⟩
International audience; Copper/oxide hybrid bonding process has been extensively studied these past years as a key enabler for 3D high density application with top and bottom tier interconnection pitch below 10μm. Since 2015 hybrid bonding process r
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::eaeb9a91dca83f5bcf13f12baed9b826
https://doi.org/10.1109/s3s.2017.8309213
https://doi.org/10.1109/s3s.2017.8309213
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.