Výsledky vyhledávání - "Möler, Wolfhard"

Conference

Surface Processes which Control the Deposition and Etching in the Sih4/H2/Si(S)-Glow Discharge System: The Competition Between Atoms, Ions and Electronics.

Autor: Vepřek, Stan, Ratz, Günter, Meindl, Klaus, Möler, Wolfhard

Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 01/22/1990, Vol. 201, pN.PAG-1, 1p

Zobrazit plný text záznamu