Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Luusua, Ismo"'
Publikováno v:
In Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A 2007 580(2):1000-1003
Publikováno v:
Henttinen, K, Suni, Lipsanen, A, Luusua, I, Ylilammi, M & Kattelus, H 2005, ' MEMS-kulut kuriin ', Prosessori, no. 2, pp. 40-41 .
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::659c0063632e0bc401e65e1ec08bf3bc
https://cris.vtt.fi/en/publications/1f81958f-1509-4678-8376-a8e29aeed80e
https://cris.vtt.fi/en/publications/1f81958f-1509-4678-8376-a8e29aeed80e
Publikováno v:
Luusua, I, Henttinen, K, Pekko, P, Vehmas, T & Luoto, H 2005, Through-wafer polysilicon interconnect fabrication with in-situ boron doping . in Symposium J-Micro-and Nanosystems-Materials and Devices ., J5.5, Materials Research Society, MRS Online Proceedings, vol. 872, pp. 77-81, 2005 MRS Spring Meeting, Symposium J: Micro-and Nanosystems-Materials and Devices, San Francisco, California, United States, 28/03/05 . https://doi.org/10.1557/PROC-872-J5.5
Bulk micromachining technology can be used to produce conducting through-wafer polysilicon interconnects, i.e., polysilicon via plugs. This paper presents the process fabrication steps of polysilicon via plugs with in-situ boron doped polysilicon mat
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=355e65625b88::9ccf997e253886e559c800ea9c7d5eff
https://cris.vtt.fi/en/publications/c1cb4ca6-dbbb-48e5-84a6-9cdf4625f20b
https://cris.vtt.fi/en/publications/c1cb4ca6-dbbb-48e5-84a6-9cdf4625f20b
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Muukkonen, Esa, Häkkinen, Teija, Riihisaari, Tarja, Eränen, Simo, Luusua, Ismo, Kiviranta, Arto, Savolahti, Pekka
Publikováno v:
Physica Scripta; 1999, Vol. 1999 Issue T79, p255-258, 4p
Publikováno v:
ECS Transactions; February 2007, Vol. 2 Issue: 25