Zobrazeno 1 - 10 of 33 pro vyhledávání: '"Luthier, R."'
1
Conference
Hybrid ultrasonic micromachined motors.
Autor: Racine, G.-A., Luthier, R., de Rooij, N.F.
Publikováno v: 1993 Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems; 1993, p128-132, 5p
Zobrazit plný text záznamu
2
Conference
Low-cost Technology For Multilayer Electroplated Parts Using Laminated Dry Film Resist.
Autor: Lorenz, H., Paratte, L., Luthier, R., de Rooi, N.F., Renaud, P.
Publikováno v: Proceedings of the International Solid-State Sensors & Actuators Conference - TRANSDUCERS '95; 1995, Issue 1, p569-572, 4p
Zobrazit plný text záznamu
3
Conference
Fabrication And Characterization Of PZT Thin Films For Micromotors.
Autor: Muralt, P., Kholkin, A., Kohli, M., Maeder, T., Brooks, K.G., Luthier, R., Setter, N.
Publikováno v: Proceedings of the International Solid-State Sensors & Actuators Conference - TRANSDUCERS '95; 1995, Issue 1, p397-400, 4p
Zobrazit plný text záznamu
4
Conference
Speed control of elastic force motors by means of integrated piezoelectric sensors.
Autor: Racine, G.-A., Beuret, C., Luthier, R., de Rooij, N.F.
Publikováno v: Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines & Robotic Systems; 1994, p124-129, 6p
Zobrazit plný text záznamu
5
Conference
Miniature gear reduction unit driven by a silicon electrostatic wobble motor.
Autor: Paratte, L., Lorenz, H., Luthier, R., Clavel, R., de Rooij, I.F.
Publikováno v: Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines & Robotic Systems; 1994, p119-123, 5p
Zobrazit plný text záznamu
6
Conference
Microfabrication of 3D multidirectional inclined structures by UV lithography and electroplating.
Autor: Beuret, C., Racine, G.-A., Gobet, J., Luthier, R., de Rooij, N.F.
Publikováno v: Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines & Robotic Systems; 1994, p81-85, 5p
Zobrazit plný text záznamu
7
Akademický článek
Hybrid ultrasonic elastic force motors micromachined in silicon.
Autor: Racine, G.-A., Luthier, R., Luginbuhl, P., Brooks, K., Setter, N., de Rooij, N. F.
Publikováno v: Integrated Ferroelectrics; Mar1995, Vol. 8 Issue 1/2, p25-34, 10p
Zobrazit plný text záznamu
8
Akademický článek
Magnetron sputtered TiAlON composite thin films. I. Structure and morphology.
Autor: Luthier, R., Lévy, F.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1991, Vol. 9 Issue 1, p102-109, 8p
Zobrazit plný text záznamu
9
Akademický článek
Magnetron sputtered TiAlON composite thin films. II. Optical and electrical properties.
Autor: Luthier, R., Lévy, F.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1991, Vol. 9 Issue 1, p110-115, 6p
Zobrazit plný text záznamu
10
Akademický článek
Ellipsometric studies of sputtered Au-TiNx thin films.
Autor: Luthier, R., Lévy, F.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 1988, Vol. 6 Issue 6, p3082-3087, 6p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje