Výsledky vyhledávání - "Lukas Drybcak"

Using statistical methods to optimize patterning parameters for tungsten deposition

Autor: Michiel Oosting, Leonid Vasilvey, Lukas Drybcak, Michael DiBattista, Gavin Hartigan, Kimball Skinner, Rick Kneedler, Jiri Zbranek

Publikováno v: Scopus-Elsevier

Circuit edit and failure analysis require tungsten deposition parameters to accomplish different goals. Circuit edit applications desire low resistivity values for rewiring, while failure analysis requires high deposition rates for capping layers. Tu

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::14c4e6e0e94e56206ebfba282d6e8b00
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-49649094289&partnerID=MN8TOARS

Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání