Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Lohr, Leonhard"'
Scatterometry is a tested method for measuring periodic semiconductor structures. Since the sizes of modern semiconductor structures have reached the nanoscale regime, the challenge is to determine the shape of periodic nanostructures with sub-nanome
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2410.24048
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Robinson, John C., Sendelbach, Matthew J., Ciesielski, Richard, Lohr, Leonhard M., Mertens, Hans, Charley, Anne-Laure, de Ruyter, Rudi, Bogdanowicz, Janusz, Hönicke, Philipp, Abbasirad, Najmeh, Soltwisch, Victor
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2023, Vol. 12496 Issue: 1 p124961M-124961M-9, 1124659p
Autor:
Kasprowicz, Bryan S., Liang, Ted, Saadeh, Qais, Mesilhy, Hazem, Soltwisch, Victor, Erdmann, Andreas, Ciesielski, Richard, Lohr, Leonhard, Andrle, Anna, Philipsen, Vicky, Thakare, Devesh, Laubis, Christian, Scholze, Frank, Kolbe, Michael
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; December 2022, Vol. 12293 Issue: 1 p122930Y-122930Y-12, 12170083p
Autor:
Saadeh, Qais, Mesilhy, Hazem, Soltwisch, Victor, Erdmann, Andreas, Ciesielski, Richard, Lohr, Leonhard, Andrle, Anna, Philipsen, Vicky, Thakare, Devesh, Laubis, Christian, Scholze, Frank, Kolbe, Michael
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 9/18/2022, Vol. 12293, p122930Y-122930Y-12, 1p