Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Lipkin, Maxim"'
Publikováno v:
Advanced Photonics Research, 4, 2300225, 2023
Laser resonators have outputs with Gaussian spatial beam profiles. In laser interference lithography (LIL), using such Gaussian shaped beams leads to an inhomogeneous exposure of the substrate. As a result, dimensions of lithography defined features
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2211.09985
Publikováno v:
Advanced Photonics Research; Oct2023, Vol. 4 Issue 10, p1-7, 7p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Optics Letters; August 2020, Vol. 45 Issue: 15 p4204-4207, 4p