Výsledky vyhledávání - "Lindau, Sten"

Conference

PSM alignment for Sigma7300: signal quality and resist effects from using the writing DUV laser light spatial light modulator and a CCD camera as measurement tool for 2:nd layer alignment metrology.

Autor: Ostrom, Thomas, Lindau, Sten, Ekberg, Mats, Fosshaug, Hans A., Zerne, Raoul

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p1039-1049, 11p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

The Groove Profile Formation of Holographic Gratings.

Autor: Lindau, Sten

Publikováno v: Optica Acta: International Journal of Optics; Oct1982, Vol. 29 Issue 10, p1371-1381, 11p

Zobrazit plný text záznamu

Periodical

High throughput grating VUV filter for the measurement of weak spectral lines in the presence of monochromatic background

Autor: Zuber, André, Wilhelm, Nathan, Witt, Georg, Lindau, Sten

Publikováno v: Applied Optics; November 1987, Vol. 26 Issue: 22 p4791-4794, 4p

Zobrazit plný text záznamu