Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Lianggou Hong"'
Autor:
Lianggou Hong, Kevin Wiacek, Timothy J. Bunning, Kurt G. Eyink, Hao Jiang, Sandra Fries-Carr, N. Venkatasubramanian, John T. Grant, Jesse Enlow
Publikováno v:
Thin Solid Films. 515:3513-3520
Polymer dielectric films fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) have unique properties due to their dense crosslinked bulk structure. These spatially uniform films exhibit good adhesion to a variety of substrates, excellent c
Autor:
Sandra Fries-Carr, Hao Jiang, Kurt G. Eyink, Kevin Wiacek, Timothy J. Bunning, John T. Grant, N. Venkatasubramanian, Thuy D. Dang, Lianggou Hong, Paul Fleitz
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
Polymer dielectric films fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) have inherent superiority due to their smooth surface, pin-hole free morphology, and dense crosslinked bulk structure. These spatially uniform films also exhibit
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.