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Autor:
Klukowska, Anna, Kolander, Anett, Bergmair, Iris, Mühlberger, Michael, Leichtfried, Hannes, Reuther, Freimut, Grützner, Gabi, Schöftner, Rainer
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 2009 86(4):697-699
