Zobrazeno 1 - 1 of 1 pro vyhledávání: '"Lee, Dahyeouk"'
1
Periodical
Optimization of 450mm Wafer Ashing Chamber by Computational Fluid Dynamics Simulation
Autor: Cha, Younghwan, Kim, Myoungsoo, Lee, Dahyeouk, Kim, Kibo, Yang, Seungkook, Park, Segeun
Publikováno v: Advanced Materials Research; October 2013, Vol. 834 Issue: 1 p1544-1547, 4p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje