Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Langan, John G."'
Ion energy distributions and optical emission spectra in NF3 -based process chamber cleaning plasmas.
Autor:
Hsueh, Hsin-Pai, McGrath, Robert T., Ji, Bing, Felker, Brian S., Langan, John G., Karwacki, Eugene J.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2001, Vol. 19 Issue 4, p1346-1357, 12p
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; 2000, Vol. 18 Issue 5, p2102-2107, 6p
Publikováno v:
Electrochemical and Solid State Letters; February 2000, Vol. 3 Issue: 2 p99-102, 4p
Publikováno v:
MRS Online Proceedings Library; 01/11/1990, Vol. 190, pN.PAG-1, 1p
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.