Ultra-high selective etching in remote plasmas: application to smart etch processes

Autor: Cunge, G., Camille Petit-Etienne, Vallier, L., Dubois, J., Soriano, R., Prevost, E., Martirosyan, V., Chambettaz, F., Bizouerne, M., Bellegarde, C., Raynal, P., Renaud, V., Pargon, E., Despiau−pujo, E., Bisserier, J., Buttet, C., Lagrasta, S.

Publikováno v: PESM 2017 (Plasma Etch and Strip in Microtechnology)
PESM 2017 (Plasma Etch and Strip in Microtechnology), 2017, Louvain, Belgium
HAL

International audience

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::536700273baf4ee9112b65d9a0270fef
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01891297

High velocity Si-nanodot : a candidate for SRAM applications at 16nm node and below

Autor: Bidal, G., Boeuf, F., Denorme, S., Loubet, N., Leverd, F., Lagrasta, S., Orlando, B., Beneyton, R., Clement, L., Pantel, R., Monfray, S., Skotnicki, T.

Publikováno v: IEEE Symposium on VLSI Technology (VLSI Symposium)
Proceedings to be published
Proceedings to be published, Jun 2009, Kyoto, Japan

International audience

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::5c4f3135f3f43c1264528724858fae0b
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00604254

Experimental results from an ultra-tightly coupled GPS/Galileo/WiFi/ZigBee/MEMS-IMU indoor navigation test system featuring coherent integration times of several seconds.

Autor: Pany, T., Winkel, J., Riedl, B., Niedermeier, H., Eissfeller, B., Wo?rz, T., Schweikert, R., Lagrasta, S., Nicole?, R., Lo?pez-Risuen?o, G., Jime?nez-Ban?os, D.

Publikováno v: 2010 5th ESA Workshop on Satellite Navigation Technologies & European Workshop on GNSS Signals & Signal Processing (NAVITEC); 2010, p1-8, 8p

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.