Zobrazeno 1 - 10
of 23
pro vyhledávání: '"LOW-TEMPERATURE PECVD"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
John Fahlteich, Steffen Schönfeld, Steffen Straach, Jeff Th. M. De Hosson, Sebastian Bunk, Thomas Kühnel, Michiel Top
Publikováno v:
Surface & Coatings Technology, 314(Special ussue), 155-159. Elsevier Science
This paper shows a study on the variation of the flow ratio between oxygen and Hexamethyldisiloxane (HMDSO) in a hollow cathode arc PECVD process. Dynamic deposition rates were measured between 300 and 500 nm * m/ min. The deposited plasma polymer fi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::5b1370725ffa55f3f64d8bef6839d25b
https://research.rug.nl/en/publications/c7058785-32bf-4df9-b6d0-4c995c7c0524
https://research.rug.nl/en/publications/c7058785-32bf-4df9-b6d0-4c995c7c0524
Single lithography-step self-aligned fabrication process for Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers
Autor:
Pascal Dubreuil, Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Guilhem Almuneau, Nicolas Mauran, Hugo Thienpont, Krassimir Panajotov, Laurent Mazenq, Benjamin Reig
We demonstrate a self-aligned process to fabricate Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers (VCSEL) which combines, within a single lithographic step the mesa etch, the surface passivation, the opening of the emission window and the top annular metall
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::7d40e0874fb1e3854f66e2c056a930c6
https://hdl.handle.net/20.500.14017/8f727c86-801d-4d9e-8bbe-f663b780c738
https://hdl.handle.net/20.500.14017/8f727c86-801d-4d9e-8bbe-f663b780c738
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.