Zobrazeno 1 - 10
of 13
pro vyhledávání: '"L.D. Bollinger"'
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 22:347-350
The AcuThin wafer thinning process for thinning bonded SOI wafers has been described. This process combines a high-speed, high data density film thickness measurement with a highly efficient PACE process to achieve precise control of SOI film thickne
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5c5e19a283c19478ec4a0f68c4c87cc1
https://doi.org/10.1016/0167-9317(93)90184-7
https://doi.org/10.1016/0167-9317(93)90184-7
Publikováno v:
IEEE International SOI Conference.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1d046e42c59113c386dd61a94d91a8f1
https://doi.org/10.1109/soi.1992.664836
https://doi.org/10.1109/soi.1992.664836
Autor:
L.D. Bollinger, C.B. Zarowin
Publikováno v:
Proceedings of the 43rd Annual Symposium on Frequency Control.
Experimental results are presented demonstrating that plasma-assisted chemical etching (PACE) can rapidly and controllably figure (shape) and smooth optical surfaces without mechanical contact. This process, for example, significantly reduces the con
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::df9945c79a7838bca05975addc198d5f
https://doi.org/10.1109/freq.1989.68924
https://doi.org/10.1109/freq.1989.68924
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Periodical
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.