Zobrazeno 1 - 10
of 15
pro vyhledávání: '"L.A. Nenasheva"'
Autor:
I.O. Akhundov, V.Sh. Aliev, V.L. Alperovich, A.P. Anciferov, A.L. Aseev, A.K. Bakarov, I.I. Beterov, M.V. Budantsev, A.A. Bykov, A.V. Chaplik, A. Chin, I.A. Derebezov, D.V. Dmitriev, S.A. Dvoretsky, A.V. Dvurechenskii, M.V. Entin, V.M. Entin, L.I. Fedina, T.A. Gavrilova, K.V. Grachev, V.A. Gritsenko, A.K. Gutakovskii, A.V. Haisler, V.A. Haisler, D.G. Ikusov, D.R. Islamov, E.V. Ivanova, M.M. Kachanova, V.V. Kaichev, A.K. Kalagin, A.N. Karpov, D.M. Kazantsev, S.S. Kosolobov, A.S. Kozhukhov, D.A. Kozlov, V.D. Kuzmin, Z.D. Kvon, A.V. Latyshev, A.S. Mardezov, A.S. Medvedev, N.N. Mikhailov, A.G. Milekhin, D.A. Nasimov, I.G. Neizvestny, L.A. Nenasheva, E.B. Olshanetsky, T.V. Perevalov, A.G. Pogosov, D.A. Pokhabov, V.P. Popov, V.Ya. Prinz, V.G. Remesnik, S.V. Rihlicky, E.E. Rodyakina, D.I. Rogilo, K.N. Romanyuk, N.S. Rudaya, I.I. Ryabtsev, I.V. Sabinina, V.K. Sandyrev, A.A. Saraev, O.I. Semenova, D.V. Sheglov, A.A. Shevyrin, A.A. Shklyaev, V.A. Shvets, N.L. Shwartz, G.Yu. Sidorov, Yu.G. Sidorov, S.V. Sitnikov, E.V. Spesivcev, A.S. Terekhov, S.A. Teys, O.A. Tkachenko, V.A. Tkachenko, A.I. Toropov, D.B. Tretyakov, A.V. Tsarev, I.E. Tyschenko, I.N. Uzhakov, V.S. Varavin, S.A. Vitkalov, A.I. Yakimov, M.V. Yakushev, A.S. Yaroshevich, D.R.T. Zahn, M.V. Zamoryanskaya, E.Yu. Zhdanov, Yu.A. Zhivodkov
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0da5de83dc57a11bf54bce44596bd0a4
https://doi.org/10.1016/b978-0-12-810512-2.00028-7
https://doi.org/10.1016/b978-0-12-810512-2.00028-7
The effect of hydrogen as an additive in reactive ion etching of GaAs for obtaining polished surface
Autor:
L.A. Nenasheva, F.N. Dultsev
Publikováno v:
Applied Surface Science. 253:1287-1290
The effect of hydrogen on the reactive ion etching (RIE) of GaAs in the CF2Cl2 plasma is discussed. The addition of hydrogen into the reaction mixture improves the sharpness of etch borders; the etched surface is smooth for etching depth > 1 μm, etc
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::82d160963c4df3a34dfbfa03b39112e4
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2006.01.073
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2006.01.073
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.