Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"L. Hoferek"'
Publikováno v:
Surface and Coatings Technology. 254:49-53
Complex film structures, such as multilayer and gradient films, were deposited using tetravinylsilane monomer by plasma-enhanced chemical vapor deposition. The optical and mechanical properties of the deposited film were controlled by the effective p
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::179cd7409f7150a17aec59c4bf6c1a20
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.05.059
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.05.059
Publikováno v:
Surface and Coatings Technology. 205:S470-S474
Plasma-polymerized tetravinylsilane films deposited on silicon wafers by PECVD at different powers using pulsed plasma were analyzed by both typical conventional depth sensing and by cyclic nanoindentation. A comparative study of the two methods was
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5ab5a2297e72dada29cb2e5c528328cb
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.01.062
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.01.062
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.