Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"L. Fendrock"'
Publikováno v:
Metallized Plastics 1 ISBN: 9781489908810
We have investigated the dependence of internal stress on argon pressure and deposition rate for 0.25 μn copper films sputtered onto a 1-mil (25 μn) — thick polyimide substrate. A dc planar magnetron was used to deposit the copper onto a flexible
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::753a8d1f878b4cb41649af0ebc3c5155
https://doi.org/10.1007/978-1-4899-0879-7_9
https://doi.org/10.1007/978-1-4899-0879-7_9
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.