Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"Löfstrand, Anette"'
Autor:
Graczyk, Mariusz, Cattoni, Andrea, Rösner, Benedikt, Seniutinas, Gediminas, Löfstrand, Anette, Kvennefors, Anders, Mailly, Dominique, David, Christian, Maximov, Ivan
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering 15 April 2018 190:73-78
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Löfstrand, Anette
As high technology device patterns are continuing to move towards decreasing critical dimensions and increasing pattern density, there is a need for lithography to move in the same direction. Block copolymer (BCP) lithography is a promising technique
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1110::d70bb0c32611c027454da4165e11f2c5
https://lup.lub.lu.se/record/d747e751-de4b-48e3-8ab8-db1fc01f2ce3
https://lup.lub.lu.se/record/d747e751-de4b-48e3-8ab8-db1fc01f2ce3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Löfstrand, Anette, Suyatin, Dmitry B., Nilsson, Nicklas, Otsuka, Issei, Kvennefors, A., Ring, J., Borsali, Redouane, Maximov, Ivan
Publikováno v:
The 5th DSA Symposium
The 5th DSA Symposium, Oct 2019, Milan, Italy
The 5th DSA Symposium, Oct 2019, Milan, Italy
International audience
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::1aa5a810742d08e672d2cb7ff7b17135
https://hal.science/hal-02352917
https://hal.science/hal-02352917
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Sanders, Daniel P., Guerrero, Douglas, Löfstrand, Anette, Jafari Jam, Reza, Mumtaz, Muhammad, Mothander, Karolina, Nylander, Tommy, Vorobiev, Alexei, Rahaman, Ahibur, Chen, Wen-Chang, Borsali, Redouane, Maximov, Ivan
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; February 2021, Vol. 11612 Issue: 1 p116120W-116120W-9, 1045090p