Zobrazeno 1 - 1 of 1 pro vyhledávání: '"Kusterer, Juergen"'
1
Conference
Elastomers for control of wafer temperature in the ≈50°C range during high dose ion implantation.
Autor: Springer, Jeff, Wriggins, Walt, Kusterer, Juergen, Zotter, Karl, Current, Michael I.
Publikováno v: 2014 20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT); 2014, p1-4, 4p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje