Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Kuruc, Marián"'
Při využívaní iontového implantátora pro různé prvky (bór, fosfor, arzén, antimon) může docházet ke kontaminaci nežádoucím prvkem. Zvláštní pozornost je potřebné věnovat zabránění fosforové kontaminaci při implantaci arzén
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______8936::57c6acd08657f36bd9a83f643e68ae8d
http://hdl.handle.net/11025/519
http://hdl.handle.net/11025/519
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.