Zobrazeno 1 - 10 of 31 pro vyhledávání: '"Kubenz, M."'
2
Akademický článek
Design of low Tg thermosets for short cycle time nanoimprint lithography
Autor: Reuther, F., Fink, M., Kubenz, M., Schuster, C., Vogler, M., Gruetzner, G.
Publikováno v: In Microelectronic Engineering 2005 78:496-502
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Effective baking of thick and ultra-thick photoresist layers by infrared radiation
Autor: Kubenz, M ∗, Ostrzinski, U, Reuther, F, Gruetzner, G
Publikováno v: In Microelectronic Engineering 2003 67:495-501
Zobrazit plný text záznamu
5
Fabrication of Nanoimprint stamps for photonic crystals
Autor: Mai A, Kubenz M, J. Kouba, W. Eberhardt, B. Loechel, Ropers G
Publikováno v: Journal of Physics: Conference Series. 34:897-903
We report on fabrication of nanoimprint stamps for fabrication of two dimensional photonic crystals in visible range of spectra. Nanoimprint stamps made of silicon and/or nickel were successfully fabricated using electron beam lithography and advance
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1be389576d1ec28621d30eccf80f9491
https://doi.org/10.1088/1742-6596/34/1/149
Zobrazit plný text záznamu
6
Nanoimprint lithography for 3D surface nanostructuring and photonic devices
Autor: Reboud, V., Kehagias, N., Zelsmann, M., Lovera, P., Schuster, C., Kubenz, M., Reuther, F., Gruetzner, G., Redmond, G., Sotomayor Torres, C.M
Publikováno v: Materials Research Society conference-MRS 2007, Fall Meeting
Materials Research Society conference-MRS 2007, Fall Meeting, 2007, boston, United States
International audience
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::ec588b98d6e14dbc6c36bcecaf58d049
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00396810
Zobrazit plný text záznamu
8
Embedded nano channels fabricated by reverse contact UV nanoimprint lithography
Autor: Kehagias, N., Reboud, V., Chansin, G., Zelsmann, M., Schuster, C., Kubenz, M., Reuther, F., Gruetzner, G., Sotomayor, C.M.
Publikováno v: Electron, Ion, and Photon Beam technology and Nanofabrication conference-EIPBN 2007
Electron, Ion, and Photon Beam technology and Nanofabrication conference-EIPBN 2007, 2007, denver, United States
International audience
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::0b792b20ab7e09ff3a2751046aa4db29
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00394563
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje