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Autor:
Köhler J; Applied Laser Technologies, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstraße 150, Bochum 44801, Germany., Ksouri SI; Applied Laser Technologies, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstraße 150, Bochum 44801, Germany., Esen C; Applied Laser Technologies, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstraße 150, Bochum 44801, Germany., Ostendorf A; Applied Laser Technologies, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstraße 150, Bochum 44801, Germany.
Publikováno v:
Microsystems & nanoengineering [Microsyst Nanoeng] 2017 Feb 27; Vol. 3, pp. 16083. Date of Electronic Publication: 2017 Feb 27 (Print Publication: 2017).